Thursday, 18 August 2011

Sputtering Oh Sputtering


Hari ini gue mulai nyeputtering lagi setelah sekian lama gak nyentuh si mesin yang kalo makenya mesti divacuum dulu sampai level high. Material target buat sputtering gue udah jadi, dibikinin sama Kyungpook University. Seharusnya ada 4 buah, yang 2 oke, sedangkan 2 lainnya broken. Tapi kemudian dibikinin lagi sama mereka.

Mesin sputtering yang biasa gue pake di lab baru aja diganti turbo molecular pump (TMP) nya. TMP yang lama udah jebol sepertinya, jadi lama banget kalau ngevacuum sampe level high. Kerja pake vacuum system apalagi yang levelnya sampai high emang butuh kesabaran dan kehati-hatian tingkat tinggi. Lupa satu step operasi, bisa-bisa ada yang jebol.

Setelah target gue pasang, gue tutup chamber segala macem, dan mulai memvacuum yang kira-kira butuh waktu sekitar 40 menit. Pas semua udah siap dan tinggal start sputtering, ternyata pas gue setting working pressure sesuai dengan experimental condition gue, enggak bisa. Pressure nya gak bisa turun lebih rendah dari 6 mTorr buat bisa generate plasma. Padahal gue mesti make working pressure 5 mTorr. Tiap kali 6 mTorr pasti plasmanya udah mati duluan. Udah dicoba berbagai macam cara tetep gak bisa. Gue panggil HC Oppa. Diutak-atik sama dia, yang akhirnya bisa 5 mTorr lebih tapi dengan mengubah experimental condition yang lain. OK, first trial gak apa-apa nyari kondisi yang sesuai. Mungkin ini karena baru pertama kali sejak TMP nya diganti. Gue pikir di trial selanjutnya mungkin plasma nya bisa keluar di pressure rendah.

Second trial, ternyata sama saja. Gak bisa generate plasma juga di pressure lebih rendah dari 6 mTorr. Gue sampai berkali-kali mutar-muter gate valve buat nyetting working pressure. Gue panggil si Oppa lagi. Dan nyetting working pressure dengan ditungguin sama dia. Kali ini experimental condition gak bisa diubah. Ternyata, it isn't work. Gue mulai desperate.

Si Oppa bilang nyuruh ganti posisi target di plasma gun yang sebelahnya. Gue minta tolong si Edit buat mindahin target. Sedangkan si Oppa bilang mau keluar makan malam dulu. Sedangkan jam sudah menunjukkan waktu berbuka puasa.

Gue ngulang experimen dari awal. Loading target, nge-roughing, nge-vacuum dll. Giliran ganti plasma gun nya, ternyata RF Power nya yang gak bisa dinaikkin. Mentok di 40 W sedangkan gue butuh RF Power 125 W. 

Ya Allah... Mesin sputtering ini mau nya apa sih... Huhuhu...

2 comments:

havban said...

kayaknya maunya ngerjain lu tuh si sputtering.. hahaha

~menarik banget bisa ngevakum

Idham 다미시 said...

Hahaha... iya kali Feb... Gak tau kenapa akhir-akhir ini banyak yang maunya ngerjain gue aja...

~vacuum system sudah tidak menarik lagi bagikuh T__T